电子级用水标准GB11446-1-89
电子级用水标准GB11446-1-89
化学指标单位: μg/L
等　级
项　目
EW—Ⅰ
EW—Ⅱ
EW—Ⅲ
EW—Ⅳ
EW—Ⅴ
电阻率MΩ.cm.(25℃)
18(最小17)
15(最小12)
10(最小8)
≥2
≥0.5
大于1μm微粒数
   1
5
   10
100
500
大于0.5μm微粒数
  100
300
  500
1000
2000
细菌个数,最大值 个/mL
   1
5
   10
50
100
总有机碳含量，最大值
  50
100
  200
1000
1000
二氧化硅总含量，最大值
   2
20
   50
100
1000
氯含量，最大值
  0.5
2
   10
100
500
铜含量，最大值
  0.2
2
    5
50
500
钾含量，最大值
  0.5
5
   10
100
1000
钠含量，最大值 0
  0.5
6
   10
200
500
锌含量，最大值
  0.2
2
   10
100
500
铝含量，最大值
  0.5
5
   10
100
500
铁含量，最大值
  0.5
5
   10
100
500
钙含量，最大值
  0.5
5
   10
100
500
 
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