电子级用水标准GB11446-1-89
更新时间：2026-03-09 11:05:10 点击次数：0
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电子级用水标准GB11446-1-89
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化学指标单位: μg/L
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等 级
项 目
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EW—Ⅰ
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EW—Ⅱ
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EW—Ⅲ
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EW—Ⅳ
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EW—Ⅴ
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电阻率MΩ.cm.(25℃)
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18(*小17)
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15(*小12)
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10(*小8)
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≥2
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≥0.5
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大于1μm微粒数
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1
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5
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10
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100
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500
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大于0.5μm微粒数
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100
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300
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500
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1000
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2000
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**个数,*大值 个/mL
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1
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5
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10
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50
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100
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总有机碳含量，*大值
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50
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100
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200
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1000
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1000
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二氧化硅总含量，*大值
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2
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20
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50
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100
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1000
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氯含量，*大值
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0.5
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2
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10
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100
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500
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铜含量，*大值
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0.2
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2
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5
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50
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500
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钾含量，*大值
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0.5
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5
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10
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100
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1000
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钠含量，*大值 0
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0.5
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6
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10
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200
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500
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锌含量，*大值
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0.2
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2
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10
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100
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500
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铝含量，*大值
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0.5
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5
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10
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100
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500
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铁含量，*大值
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0.5
|
5
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10
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100
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500
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钙含量，*大值
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0.5
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5
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10
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100
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500
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